6月1日消息，来自国外媒体的报道，全球知名的光刻机设备生产商荷兰ASML公司近日在官网宣布，它们已经完成了用于5nm及更先进工艺的第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的研发及测试。

据ASML公司公布的消息显示，HMI eScan1000能够同时产生、控制九道电子束，与单个电子束检查工具相比，将使吞吐量提高达600％，这也意味着一旦设备完成最终的量产开发 ，目前的5nm工艺产能将实现600%的暴涨。

公开资料显示，新的MBI系统包括一个电子光学系统，能够创建和控制多个初级电子波束，然后收集和处理产生的次级电子波束，将波束之间的串扰限制在2%以内，并提供一致的成像质量。

此外，这种MBI系统还具有提高系统总体吞吐量的高速阶段和实时处理来自多个波束的数据流的高速计算体系结构。目前，首台多波束检测系统已于本周交付客户进行鉴定。

虽然新的技术将使5nm工艺产能暴涨600%，但对于我国晶圆代工厂来说，短时间内几乎不可能买到这种设备，目前我国仍然在努力引进初代的7nm工艺光刻机。